高频等离子体中生长碳膜的初探

<正> 碳膜因结构和性能类似金刚石,故也称类金刚石薄膜(Diamond-like Carbon Films)简称“DLC”膜。它具有硬度高、绝缘性能好、红外与可见光透明性好及高化学惰性等特殊性能,而且日益受到人们的重视。如作刀具的超硬涂层,太阳能电池的薄膜层,红外光学系统的抗反射膜,抗腐蚀的化工管道内壁涂层等,具有广泛的应用前景。