金刚石复合片ELID精密磨削工艺及机理研究 |
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引用本文: | 关佳亮,赵显辉,任勇,孙晓楠,陈玲.金刚石复合片ELID精密磨削工艺及机理研究[J].工具技术,2016(11):34-37. |
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作者姓名: | 关佳亮 赵显辉 任勇 孙晓楠 陈玲 |
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作者单位: | 1. 北京工业大学;2. 北京卫星制造厂 |
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摘 要: | 针对金刚石复合片的超精密加工难题,基于正交试验法优化金刚石复合片ELID精密磨削参数组合,采用极差分析得到了各因素对加工质量的影响程度大小,并以此为基础进行了工艺实验。根据金刚石复合片磨削加工后的SEM电镜扫描图,对其表面磨削机理及加工表面典型缺陷进行了分析。研究表明,金刚石复合片的ELID精密磨削最优参数为磨削深度为0.3μm、主轴转速1500r/min、占空比40%、工件移动速度为0.25mm/s、电解电压25V、电极间隙1mm。采用优化后的参数组合进行磨削加工,获得了粗糙度为0.019μm的加工表面。
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关 键 词: | 金刚石复合片 ELID精密磨削技术 工艺参数 正交试验 |
Research on ELID Precision Grinding Process and Mechanism of PDC |
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Abstract: | |
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Keywords: | PDC ELID grinding technology process parameters orthogonal test |
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