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| 基于显微视觉的MEMS微装配系统研究 | |
| 引用本文： | 陈立国,孙立宁,边信黔,荣伟彬.基于显微视觉的MEMS微装配系统研究[J].机械与电子,2005(5):31-33. |
| 作者姓名： | 陈立国 孙立宁 边信黔 荣伟彬 |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨工程大学,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001 2. 哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001 3. 哈尔滨工程大学,黑龙江,哈尔滨,150001 |
| 基金项目： | 国家 八六三"MEMS重大专项(2002AA404450),国防基础科研项目(k1401060130) |
| 摘 要： | 提出一种基于显微视觉伺服控制的MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机及关键技术模块的研制方案。以微型光谱分析仪极板粘接为示范应用开展了实验研究,表明该系统适用于典型MEMS芯片的微对准和封装研究。 |
| 关 键 词： | 微装配 微机电系统 显微视觉 |
| 文章编号： | 1001-2257(2005)05-0031-02 |
| 修稿时间： | 2005年2月28日 |
Research of MEMS Assembly System Based on Micro-vision |
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| CHEN Li-guo,SUN Li-ning,BIAN Xin-qian,RONG Wei-bin.Research of MEMS Assembly System Based on Micro-vision[J].Machinery & Electronics,2005(5):31-33. | |
| Authors: | CHEN Li-guo SUN Li-ning BIAN Xin-qian RONG Wei-bin |
| Affiliation: | CHEN Liguo~ |
| Abstract: | A new microvision based microassembly system was designed.The system and key modules were described in detail.The system was used to complete the microalignment and felt of micro spectral analysis chips.Experiments show that the system is useful in microassembly of typical MEMS chips. |
| Keywords: | microassembly MEMS microvision |
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