| MEMS微装配机器人系统的研究 |
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| 引用本文： | 谢晖,孙立宁,荣伟彬,陈立国.MEMS微装配机器人系统的研究[J].机械与电子,2005(3):7-10. |
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| 作者姓名： | 谢晖 孙立宁 荣伟彬 陈立国 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | "八六三"MEMS重大专项基金资助项目(2002AA404450) |
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| 摘 要： | 首先总结了国内外微装配机器人系统及其关键技术的研究现状，并列举了部分应用实例。然后在分析微装配特点的基础上，提出了在显微视觉、多传感器信息融合控制以及微夹持器设计的解决方案。最后展望了微装配机器人及其关键技术的发展趋势。
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| 关 键 词： | MEMS 微装配机器人 关键技术 |
| 文章编号： | 1001-2257(2005)03-0007-03 |
Current Situation and Trend of Microassembly Robot for MEMS |
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| XIE Hui,SUN Li-ning,RONG Wei-bin,CHEN Li-guo.Current Situation and Trend of Microassembly Robot for MEMS[J].Machinery & Electronics,2005(3):7-10. |
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| Authors: | XIE Hui SUN Li-ning RONG Wei-bin CHEN Li-guo |
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| Abstract: | The increasing of functionality of MEMS system is promoted by microassembly.In this paper, the current situation of the microassembly robot and key techniques for micromanipulation is presented,and some corresponding application cases in different fields are introduced.Moreover,characteristics of microassembly,the techniques of microvision,multisensor data fusing, and microgripper are analyzed.The development trends of the microassembly robot and the microassembly techniques in the future are discussed. |
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| Keywords: | MEMS microassembly robot key techniques |
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