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电容式微位移传感器检测电路的设计
引用本文:孙立宁,晏祖根,陈立国.电容式微位移传感器检测电路的设计[J].机械与电子,2005(1):33-35.
作者姓名:孙立宁  晏祖根  陈立国
作者单位:哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001
摘    要:设计了一种改进的电容运算放大器检测电路,该电路主要包括正弦激励源电路、电容检测电路、精密全波整流电路和增益滤波电路。实验证明,采用该电路的传感器,非线性误差小于0.1%,分辨率优于0.1μm。

关 键 词:电容  传感器  微位移测量  检测电路
文章编号:1001-2257(2005)01-0033-03
修稿时间:2004年11月15

Design of Transform Circuit for Displacement Capacitance Sensor
SUN Lining,YAN Zugen,CHEN Liguo.Design of Transform Circuit for Displacement Capacitance Sensor[J].Machinery & Electronics,2005(1):33-35.
Authors:SUN Lining  YAN Zugen  CHEN Liguo
Abstract:
Keywords:capacitance  sensor  displacement measurement  detecting circuit  
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