基于多轮廓型腔结构件表面DLC薄膜的制备与性能研究

类金刚石碳膜是力学综合性能、耐磨损、耐腐蚀和透光性能好的薄膜,在先进制造技术领域得到了越来越多的应用。通过类金刚石(DLC)薄膜制备方法与机械特性的阐述,对不同磁控溅射法对多轮廓型腔结构件表面DLC薄膜结构性能的干扰制约,以及DLC薄膜工艺技术制定方案的关键问题进行深入探究。