数字微镜器件光谱成像技术进展 |
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引用本文: | 石颖超,张路明,陈飞,苑伟政,虞益挺.数字微镜器件光谱成像技术进展[J].光学精密工程,2023(21):3096-3110. |
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作者姓名: | 石颖超 张路明 陈飞 苑伟政 虞益挺 |
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作者单位: | 1. 西北工业大学宁波研究院机电学院;2. 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室陕西省微纳机电系统重点实验室 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(No.51975483,No.52205603);;宁波市自然科学基金资助项目(No.202003N4033); |
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摘 要: | 数字微镜器件(DMD)作为一种灵活、可编程、可独立寻址的空间光调制器件,广泛地应用于无掩膜光刻、光束整形、全息成像、共焦测量等领域。在光谱成像领域,DMD能够对成像视场进行精细可控的调制,从而代替传统的机械掩膜版和机械扫描结构。综述了近年来DMD在光谱成像领域的研究进展和应用情况,详细论述了基于DMD的编码孔径和推扫式光谱成像系统的光学系统基本结构及工作原理;梳理了基于DMD的光谱成像系统从哈达玛变换光谱成像到推扫式光谱成像的发展脉络;详细介绍了研究人员为克服DMD微镜的衍射以及像面倾斜等像差所做的相关研究工作。最后,总结了基于DMD的光谱成像技术的独特优势,讨论了基于DMD的光谱成像技术未来的发展方向与应用前景。
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关 键 词: | 数字微镜器件 光谱成像 编码孔径 哈达玛变换 推扫式 |
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