| 微通道板式WSZ位敏阳极探测器的图像拖尾处理 |
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| 引用本文： | 王晓东,朱小明,吕宝林,鲍海明,刘文光,李哲.微通道板式WSZ位敏阳极探测器的图像拖尾处理[J].光学精密工程,2013,21(9). |
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| 作者姓名： | 王晓东 朱小明 吕宝林 鲍海明 刘文光 李哲 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院大学,北京100039 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 分析了极紫外成像仪图像拖尾的原因,提出了消除该现象的方法.分析了坐标计算公式中各个分量变化对图像的影响,结果显示:信号叠加和微通道板(MCP)反馈是系统对坐标分量影响最大的两种因素.通过对图像数据的分析,排除了信号叠加的两种情况即峰堆积和尾堆积产生拖尾的可能性.对拖尾最严重处电荷变化量的计算表明,MCP反馈是产生拖尾的主要原因,而MCP所加高压的幅度是产生反馈的重要因素之一.最后,用在2 950 V和2 800 V高压下采集的图像验证了拖尾是由MCP反馈引发的,并通过实验给出了解决方案:通过烘烤减少MCP通道内的气体残留并定期对MCP进行电子束清刷来降低反馈发生的几率,减小拖尾的影响.
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| 关 键 词： | 极紫外成像仪 图像拖尾 信号叠加 微通道板反馈 |
Image tailing processing of WSZ position sensitive anode detector based on MCP |
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| WANG Xiao-dong
,
ZHU Xiao-ming
,
L Bao-lin
,
BAO Hai-ming
,
LIU Wen-guang
,
LI Zhe.Image tailing processing of WSZ position sensitive anode detector based on MCP[J].Optics and Precision Engineering,2013,21(9). |
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| Authors: | WANG Xiao-dong ZHU Xiao-ming L Bao-lin BAO Hai-ming LIU Wen-guang LI Zhe |
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| Affiliation: | WANG Xiao-dong
,
ZHU Xiao-ming
,
L(U) Bao-lin
,
BAO Hai-ming
,
LIU Wen-guang
,
LI Zhe |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | EUV imager image tailing superposed signal Micro Channel Plate(MCP) feedback |
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