| 由正交傅里叶-梅林矩定位的双光纤耦合微内尺度测量 |
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| 引用本文： | 崔继文,陈世丽,谭久彬.由正交傅里叶-梅林矩定位的双光纤耦合微内尺度测量[J].光学精密工程,2010,18(5):1068-1076. |
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| 作者姓名： | 崔继文 陈世丽 谭久彬 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,超精密光电仪器工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 为了解决微内尺度的精密测量问题,提出了一种基于正交傅里叶-梅林矩(OFMM’s)定位的双光纤耦合瞄准触发式微内尺度测量方法。该方法通过耦合器实现光能量在不同光纤间的反向传输,把双光纤传感器测头的横向位移量转化为光束的偏转量,通过显微成像系统把此偏转量转化为CCD图像捕捉系统更大的横向位移量。为提高测量精度,运用OFMM’s的幅值旋转不变性和独特的图像形状细节特征的描述能力对CCD图像捕捉系统的图像信号进行亚像素定位;根据OFMM’s的实际位置进行补偿以提高输出图像边缘的定位精度,从而提高测量精度。对OFMM’s的定位精度及传感器性能进行了实验验证,并依据JJF(黑)8-2008,利用自行研制的微小孔径测量机实现了对直径为200μm、深2 000μm深盲孔的直径测量,其测量重复性不确定度优于0.25μm。
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| 关 键 词： | 微内尺度测量 双光纤耦合 反向传输 正交傅里叶-梅林矩 |
| 收稿时间： | 2009-06-19 |
| 修稿时间： | 2009-09-21 |
Measurement of micro-cavity dimension by double optical fiber coupler based on OFMM's location |
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| CUI Ji-wen,CHEN Shi-li,TAN Jiu-bin.Measurement of micro-cavity dimension by double optical fiber coupler based on OFMM's location[J].Optics and Precision Engineering,2010,18(5):1068-1076. |
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| Authors: | CUI Ji-wen CHEN Shi-li TAN Jiu-bin |
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| Affiliation: | Institute of Ultra-precision Optical &; Electronic Instrument Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001,China
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| Abstract: | |
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| Keywords: | measurement of micro-cavity dimension double optical fiber coupler reversal transmission orthogonal Fourier-Melline Moments(OFMM’s) |
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