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| 离轴非球面CGH高精度检测技术 | |
| 引用本文： | 黎发志,罗霄,赵晶丽,薛栋林,郑立功,张学军.离轴非球面CGH高精度检测技术[J].光学精密工程,2011(3):528. |
| 作者姓名： | 黎发志 罗霄 赵晶丽 薛栋林 郑立功 张学军 |
| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;中国科学院研究生院 |
| 摘 要： | 为了实现离轴非球面高精度定位、光路对准及面形检验,针对离轴非球面的特点,提出了一种使用CGH技术实现离轴非球面高精度光学检测的方法,将被检非球面倾斜平移后作为轴上自由曲面进行 |
| 关 键 词： | 离轴非球面 高精度定位 面形检验 非球面反射镜 自由曲面 光学检测 技术实现 检测技术 光路 对准 |
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