| 微装配技术的发展现状及关键技术 |
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| 引用本文： | 段瑞玲,李庆祥,李玉和.微装配技术的发展现状及关键技术[J].光学精密工程,2004,12(Z1):27-30. |
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| 作者姓名： | 段瑞玲 李庆祥 李玉和 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器及机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 973国家重大基础研究项目(2003CB716201) |
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| 摘 要： | 微机械电子技术的快速发展及其系统结构的日趋复杂,促进了微机电系统中微装配技术的日益蓬勃发展.因此对微装配和微操作的研究日益引起国内外研究人员的重视.详细地综述了近年来微装配技术的国内外发展现状以及其发展过程中面临的一些关键技术,包括微装配机理、显微视觉技术、微夹持器、微驱动技术等,最后对微装配的发展进行了展望.
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| 关 键 词： | 微机电系统 微装配 微夹持器 显微视觉 |
| 文章编号： | 1004-924X(2004)03-0027-04 |
| 收稿时间： | 2004/3/10 |
| 修稿时间： | 2004年3月10日 |
Review of micro-assembly and its key technology |
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| DUAN Rui-ling,LI Qing-xiang,LI Yu-he.Review of micro-assembly and its key technology[J].Optics and Precision Engineering,2004,12(Z1):27-30. |
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| Authors: | DUAN Rui-ling LI Qing-xiang LI Yu-he |
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