热压硫化锌的超精密磨削加工 |
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引用本文: | 陈冰,郭兵,赵清亮,饶志敏,姚光.热压硫化锌的超精密磨削加工[J].光学精密工程,2014,22(8):2109. |
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作者姓名: | 陈冰 郭兵 赵清亮 饶志敏 姚光 |
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作者单位: | 陈冰:哈尔滨工业大学 机电工程学院,黑龙江 哈尔滨 150001 郭兵:哈尔滨工业大学 机电工程学院,黑龙江 哈尔滨 150001 赵清亮:哈尔滨工业大学 机电工程学院,黑龙江 哈尔滨 150001 饶志敏:哈尔滨工业大学 机电工程学院,黑龙江 哈尔滨 150001 姚光:中国航天科技集团 长征机械厂,四川 成都 610100
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(No.51075093);国家重大科技专项资助项目(No.2011ZX 04004-051) |
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摘 要: | 针对用传统车削或研磨抛光方法加工大尺寸非球面热压硫化锌透镜存在的不足,采用金刚石砂轮磨削加工方法对热压硫化锌材料进行了加工实验。通过压痕、单颗粒金刚石刻划和磨削正交实验,研究了该方法在磨削加工过程中的塑性域去除机理及其亚表面损伤情况,并优化了超精密磨削加工工艺参数。压痕实验发现热压硫化锌材料在载荷作用下易于出现径向裂纹和微裂纹,其断裂韧性为2.643842MPa/m1/2,临界切削深度为1.808μm。单颗粒金刚石刻划实验结果表明,热压硫化锌材料在较小的切削深度下可以实现塑性域去除,但在机械去除过程中易出现多种形式的亚表层损伤。磨削实验结果表明,磨削深度是影响表面光洁度的主要因素,随着磨削深度的增大表面光洁度降低,最佳表面粗糙度为7.6nm。工作台进给速度是影响面形精度的主要因素,且平面磨削的面形精度PV值为0.185~0.395μm。研究结果表明,磨削加工热压硫化锌材料可以获得纳米级表面粗糙度。
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关 键 词: | 热压硫化锌透镜 压痕实验 临界切削深度 单颗粒刻划 平面磨削 亚表面损伤 表面质量 |
收稿时间: | 2013/12/2 |
Ultra-precision grinding of hot-pressed zinc sulfide |
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Abstract: | |
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Keywords: | hot-pressed zinc sulfide lens micro-indentation experiment critical cutting thickness single-point diamond scratching surface grinding subsurface damage surface quality |
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