| MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究 |
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| 引用本文： | 李路明,王立鼎.MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究[J].光学精密工程,1997,5(1):67-73. |
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| 作者姓名： | 李路明 王立鼎 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械研究所微机械研究室 |
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| 基金项目： | 国家科委攀登计划B资助 |
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| 摘 要： | 简要叙述了微电子机械系统(MEMS)研究中的多单元综合体--微型系统,包括它的种类、结构、工作原理及相关的特性。对其应用前景作了讨论,并提出了一些超前的设想
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| 关 键 词： | 微型系统 微机械 |
| 收稿时间： | 1996-05-09 |
Microsystem and its Development and Applications |
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| Li Luming,Wang Liding.Microsystem and its Development and Applications[J].Optics and Precision Engineering,1997,5(1):67-73. |
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| Authors: | Li Luming Wang Liding |
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| Affiliation: | Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, 130022 |
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| Abstract: | This paper describes the sorts,structures,operational principles and characteristics of the microsystems,a new popular research field in MEMS.The future applications about the microsystem are discussed,and some new thoughts are presented at the end of the paper. |
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| Keywords: | Microsystem MEMS Applicaton |
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