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时间/压力型pL级微点胶技术
引用本文:史亚莉,张文生,徐德,张正涛,张娟.时间/压力型pL级微点胶技术[J].光学精密工程,2011,19(11):2724-2730.
作者姓名:史亚莉  张文生  徐德  张正涛  张娟
作者单位:中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心,北京,100190
基金项目:中国科学院知识创新工程重要方向资助项目; 国家基金委重大研究计划资助项目(No.90924026)
摘    要:针对惯性约束核聚变实验装配冷冻靶中靶丸与充气管零件时对用胶量的要求(3 pL),对时间/压力型pL级微点胶技术进行了研究.将细胞实验用的微注射器改造成时间/压力型微量点胶机,并使用针尖最小内径为0.5 μm,由石英材料制作的毛细针进行点胶.搭建了一个微点胶实验平台,设计了分辨率为1.57 μm的双目显微视觉检测系统,对...

关 键 词:pL  微点胶实验平台  时间/压力型点胶技术

Time/pressure pL micro-bonding technology
SHI Ya-li,ZHANG Wen-sheng,XU De,ZHANG Zheng-tao,ZHANG Juan.Time/pressure pL micro-bonding technology[J].Optics and Precision Engineering,2011,19(11):2724-2730.
Authors:SHI Ya-li  ZHANG Wen-sheng  XU De  ZHANG Zheng-tao  ZHANG Juan
Affiliation:SHI Ya-li,ZHANG Wen-sheng,XU De,ZHANG Zheng-tao,ZHANG Juan(Center for Precision Perception and Control,Institute of Automation,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China)
Abstract:
Keywords:pL  micro bonding experimental station  time/pressure bonding technology  
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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