| 基于自停止腐蚀技术的H型谐振式微机械压力传感器 |
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| 引用本文： | 李玉欣,陈德勇,王军波,焦海龙,罗振字.基于自停止腐蚀技术的H型谐振式微机械压力传感器[J].光学精密工程,2011,19(12):2927-2934. |
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| 作者姓名： | 李玉欣 陈德勇 王军波 焦海龙 罗振字 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100190 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，国家863高技术研究发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | 为了提高压力传感器的精度并抑制温漂,提出了一种基于自停止腐蚀技术的“H”型双端固支梁、电磁激励、差分检测的微机械(MEMS)谐振式压力传感器.首先,通过有限元分析仿真优化了传感器的机械参数,得到了较高的灵敏度和分辨率.然后,基于浓硼扩散自停止腐蚀原理,采用MEMS体硅标准工艺加工出一致性较好的传感器样品.最后,采用非光...
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| 关 键 词： | 微机械压力传感器 谐振式压力传感器 双端固支梁 差分检测 黏和键合 |
H type micro-machined resonant pressure sensor based on self-stopped etch technique |
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| LI Yu-xin,CHEN De-yong,WANG Jun-bo,JIAO Hai-long,LUO Zhen-yu.H type micro-machined resonant pressure sensor based on self-stopped etch technique[J].Optics and Precision Engineering,2011,19(12):2927-2934. |
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| Authors: | LI Yu-xin CHEN De-yong WANG Jun-bo JIAO Hai-long LUO Zhen-yu |
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| Affiliation: | (State Key Laboratory of Transducer Technology,Institute of Electronics, Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China) |
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