| 集成式6自由度微动并联机器人系统 |
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| 引用本文： | 王振华,陈立国,孙立宁.集成式6自由度微动并联机器人系统[J].光学精密工程,2007,15(9):1391-1397. |
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| 作者姓名： | 王振华 陈立国 孙立宁 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学机器人研究所,黑龙江,哈尔滨,150080 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 基于机构、驱动、检测一体化的思想,研制出了压电陶瓷驱动的6自由度集成式并联微动机器人,对该机器人的机构、驱动、检测、控制及误差补偿方法进行了研究.采用6自由度(6-SPS)并联结构设计了微动并联机器人的构型,对结构参数进行了优化,并进行了运动空间分析和刚度分析.基于模块化设计思想将压电陶瓷驱动电源、微位移传感器检测电路、中央控制器组合在一起,通过自定义的内部总线相连构成了并联机器人的驱动和控制系统.最后,给出了该机器人位姿测量方法,并分别在压电陶瓷的开环与闭环控制状态下进行位姿测量,进而实现误差补偿.实验结果表明:该并联微动机器人可实现10 nm平动重复定位精度;0.0001°转动重复定位精度;具有定位精度和可靠性高,使用灵活方便的特点,满足多自由度精密定位的要求.
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| 关 键 词： | 并联微动机器人 压电陶瓷 位姿测量 误差补偿 |
| 文章编号： | 1004-924X（2007）09-1391-07 |
| 收稿时间： | 2007/1/25 |
| 修稿时间： | 2007-01-25 |
Integrated 6-DOF parallel micro-positioning robot |
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| WANG Zhen-hua,CHEN Li-guo,SUN Li-ning.Integrated 6-DOF parallel micro-positioning robot[J].Optics and Precision Engineering,2007,15(9):1391-1397. |
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| Authors: | WANG Zhen-hua CHEN Li-guo SUN Li-ning |
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| Affiliation: | Robotics Institute, Harbin Institute of Technology, Harbin 150080 ,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | parallel microrobot PZT pose measurement error compensation |
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