| 压电直线精密驱动器研究 |
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| 引用本文： | 刘建芳,杨志刚,范尊强,程光明. 压电直线精密驱动器研究[J]. 光学精密工程, 2005, 13(1): 65-72 |
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| 作者姓名： | 刘建芳 杨志刚 范尊强 程光明 |
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| 作者单位： | 吉林大学,吉林,长春,130025;吉林大学,吉林,长春,130025;吉林大学,吉林,长春,130025;吉林大学,吉林,长春,130025 |
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| 基金项目： | 国家863计划资助(No.2002AA423150) |
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| 摘 要： | 提出一种新型的压电直线精密步进驱动器。该驱动器采用仿生运动的原理,以定子主动箝位的方式和双侧薄壁铰链微变形结构,解决了以往压电精密驱动器箝位不牢固、步进频率较低、行程小、分辨率低、速度低、驱动力不稳定等问题。研制的精密直线驱动器能够实现高频率100 Hz,高速度30 mm/min,大行程>10 mm,高分辨率0.05 μm,大驱动力100 N等特点,大幅度提高了压电型步进驱动器的驱动性能。
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| 关 键 词： | 压电陶瓷驱动器 定子主动箝位 精密驱动器 双薄壁柔性铰链 大行程 |
| 文章编号： | 1004-924X(2005)01-0065-08 |
| 收稿时间： | 2004-11-21 |
| 修稿时间： | 2004-11-21 |
Precise PZT linear step actuator |
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| LIU Jian-fang,YANG Zhi-gang,FAN Zun-qiang,CHENG Guang-ming. Precise PZT linear step actuator[J]. Optics and Precision Engineering, 2005, 13(1): 65-72 |
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| Authors: | LIU Jian-fang YANG Zhi-gang FAN Zun-qiang CHENG Guang-ming |
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| Affiliation: | Jilin University, Changchun 130025, China |
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| Abstract: | A new precision linear PZT actuator is proposed to improve its drive capabilities that is based on the piezoelectric (PZT) technology. It adopts the principle of bionics and works in a new mode of stator initiative anchoring/loosening and a distortion structure of double-side thin flexible hinge,which has solved the problem of anchoring/loosening, frequency, journey, resolution and velocity. The experiment shows that the new linear PZT actuator works at a high frequency of 100 Hz, high speed of 30 mm/min, large travel above 10 mm, high resolution of 0.05 μm and high load (100 N). |
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| Keywords: | piezoelectric actuator stator initiative anchoring/loosening step actuator double-side thin flexible hinge large travel |
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