| 高精度大口径平面镜面形角差法测试探究 |
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| 引用本文： | 马冬梅,孙军月,张波,韩昌元.高精度大口径平面镜面形角差法测试探究[J].光学精密工程,2005,13(Z1):121-126. |
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| 作者姓名： | 马冬梅 孙军月 张波 韩昌元 |
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| 作者单位： | 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,检测中心,吉林,长春,130033 |
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| 摘 要： | 研究了一种集高精度自准直仪与五棱镜于一体,采用角差法(角度变化量测试),实现大口径平面镜垂直状态下面形测试的方法.此方法的运用可实现对大口径平面镜面形的直接高精度检测,突破常规"以大测大"的高成本检测方法.本文阐述了测试装置的设计思想,对影响面形轮廓测试精度的因素进行了讨论.大口径平面镜面形的变化可通过其各点法线方向角度的变化量而反映出,采用高精度测试角度变化量的方法可计算获知面形轮廓状态.通过对大口经平面镜条带区域面形轮廓的测试原理分析,计算得出角差法(角度变化量测试)的测量不确定度.同时,由于对测试的高精度要求(纳米级),测试环境(温度、振动、气流扰动)也对测试结果有着不可忽视的影响,通过条带区域轮廓测试实验,对采样方式与环境影响进行了分析,从而得出在一定测试条件下,测量装置与环境对测量精度的影响程度,其测量不确定度可达到次纳米量级以上(扩展不确定度U=15.4～9.0 nm,取置信概率p＝0.99,包含因子κ＝3),基本满足测试需要.
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| 关 键 词： | 大口径平面镜 面形测试 角差法 高精度自准直仪 五棱镜 |
| 文章编号： | 1004-924(2005)增-0121-06 |
| 收稿时间： | 2005/7/20 |
| 修稿时间： | 2005年7月20日 |
High precision large flat mirror measurement by angle difference testing |
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| MA Dong-mei,SUN Jun-yue,ZHANG Bo,HAN Chang-yuan.High precision large flat mirror measurement by angle difference testing[J].Optics and Precision Engineering,2005,13(Z1):121-126. |
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| Authors: | MA Dong-mei SUN Jun-yue ZHANG Bo HAN Chang-yuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | large flat mirror topography measurement method of angle difference testing ultra-precise autocollimator pentagon prism |
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