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微机电系统光学组件的系统级建模
引用本文:李晓莹,李慧敏,常洪龙,何洋,焦文龙.微机电系统光学组件的系统级建模[J].光学精密工程,2012,20(5):1069-1075.
作者姓名:李晓莹  李慧敏  常洪龙  何洋  焦文龙
作者单位:西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,陕西西安,710072
基金项目:国家863高技术研究发展计划(MEMS重大专项)资助项目
摘    要:为提高微机电系统(MEMS)中光学系统整体仿真的准确性和效率,解决光学组件系统级建模存在的问题,提出了一种光学组件系统级建模方法,该方法可同时支持与MEMS系统级机械组件和电路组件共同仿真.首先,介绍了多端口组件网络方法、高斯光束特点和空间坐标系变换理论.接着,以微平面镜为例,介绍了光学组件系统级建模方法的流程.最后,采用Verilog-A硬件描述语言建立了包含多个典型光学组件的系统级光学库.使用该库的光学组件在MEMS集成设计工具MEMSGarden中搭建微扫描系统进行了仿真与测试.与商业软件CoventorWare的分析结果相比,提出的建模方法解决了扫描盲区问题,且非差分电压分析的误差小于3%.结果显示,本文提出的建模方法精确有效,对MEMS的系统级设计有参考价值.

关 键 词:微机电系统(MEMS)  光学组件  建模  Verilog-A硬件描述语言
收稿时间:2011/12/27

System-level modeling for MEMS optical components
LI Xiao-ying , LI Hui-min , CHANG Hong-long , HE Yang , JIAO Wen-long.System-level modeling for MEMS optical components[J].Optics and Precision Engineering,2012,20(5):1069-1075.
Authors:LI Xiao-ying  LI Hui-min  CHANG Hong-long  HE Yang  JIAO Wen-long
Affiliation:(Laboratory of Micro and Nano Electromechanical Systems, Northwestern Polytechnical University,Xi′an 710072,China)
Abstract:
Keywords:Micro-electro-mechanical Systems(MEMS)  optical component  modeling  Verilog-A
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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