| 三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征 |
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| 引用本文： | 王陈,孟宪昱,于瀛洁,孔明,刘维.三维微纳米台阶高精度光学显微测量量化表征[J].光学精密工程,2022,30(6):651-658. |
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| 作者姓名： | 王陈 孟宪昱 于瀛洁 孔明 刘维 |
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| 作者单位： | 上海大学机电工程与自动化学院,上海200444,中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018 |
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| 基金项目： | 新型显示技术及应用集成教育部重点实验室资助课题;上海市青年科技英才扬帆计划资助项目 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 三维纳米结构 台阶高度 光学显微测量 参数表征 三维形貌 |
High-accuracy characterization of areal micro-nano steps measured with optical microscopes |
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| WANG Chen,MENG Xianyu,YU Yingjie,KONG Ming,LIU Wei.High-accuracy characterization of areal micro-nano steps measured with optical microscopes[J].Optics and Precision Engineering,2022,30(6):651-658. |
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| Authors: | WANG Chen MENG Xianyu YU Yingjie KONG Ming LIU Wei |
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