| 离轴非球面的计算全息图高精度检测技术 |
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| 引用本文： | 黎发志,罗霄,赵晶丽,薛栋林,郑立功,张学军. 离轴非球面的计算全息图高精度检测技术[J]. 光学精密工程, 2011, 19(4): 709-716. DOI: 10.3788/OPE.20111904.0709 |
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| 作者姓名： | 黎发志 罗霄 赵晶丽 薛栋林 郑立功 张学军 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033;中国科学院研究生院,北京100039
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目 |
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| 摘 要： | 为了实现离轴非球面高精度定位、光路对准及面形检验,提出了一种使用计算全息图(CGH)技术实现离轴非球面高精度光学检测的方法.将被检非球面倾斜平移后作为轴上自由曲面进行CGH补偿检测设计,从而减小了检测光路的相对口径和CGH所需补偿像差,提高了CGH检测精度.使用自行开发的CGH专用设计计算软件,设计完成的CGH同时具有...
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| 关 键 词： | 计算全息图 衍射光学元件加工 离轴非球面 光学检测 |
Test of off-axis aspheric surfaces with CGH |
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| LI Fa-zhi,LUO Xiao,ZHAO Jing-li,XUE Dong-lin,ZHENG Li-gong,ZHANG Xue-jun. Test of off-axis aspheric surfaces with CGH[J]. Optics and Precision Engineering, 2011, 19(4): 709-716. DOI: 10.3788/OPE.20111904.0709 |
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| Authors: | LI Fa-zhi LUO Xiao ZHAO Jing-li XUE Dong-lin ZHENG Li-gong ZHANG Xue-jun |
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| Affiliation: | 1 (1.Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China; 2.Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100039,China) |
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| Abstract: | |
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