| 微硅狭缝紫外-可见光谱仪杂散光的产生与抑制 |
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| 引用本文： | 黎海文,郝鹏,吴一辉. 微硅狭缝紫外-可见光谱仪杂散光的产生与抑制[J]. 光学精密工程, 2011, 19(4): 737-742. DOI: 10.3788/OPE.20111904.0737 |
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| 作者姓名： | 黎海文 郝鹏 吴一辉 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033;中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,江苏苏州215613
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家863高技术研究发展计划资助项目，江苏省科技支撑工业类资助项目，中科院知识创新重要方向性资助项目 |
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| 摘 要： | 采用MEMS技术,研制了一种基于微硅狭缝的紫外-可见光谱仪.介绍了该光谱仪的系统组成,分析了其杂散光的产生原因,着重讨论了光谱仪的关键部件-微硅狭缝的直线度、厚度与杂散光之间的关系,并对狭缝直线度产生的杂散光进行了实验验证.针对以卤钨灯为光源的紫外-可见光谱仪进行测量时,紫外部分能量低,杂散光严重的问题,提出一种组合滤...
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| 关 键 词： | 紫外-可见光谱仪 杂散光 滤光片 微硅狭缝 |
Generation and suppression of stray light in UV-vis spectrometer based on micro-silicon-slit |
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| LI Hai-wen,HAO Peng,WU Yi-hui. Generation and suppression of stray light in UV-vis spectrometer based on micro-silicon-slit[J]. Optics and Precision Engineering, 2011, 19(4): 737-742. DOI: 10.3788/OPE.20111904.0737 |
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| Authors: | LI Hai-wen HAO Peng WU Yi-hui |
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| Affiliation: | 1(1.State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China; 2.Suzhou Institute of Biomedical Engineering and Technology, Chinese Academy of Sciences,Suzhou 215163,China) |
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| Abstract: | |
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