| X-Y直线电机精密运动平台的轮廓误差主动补偿 |
| |
| 引用本文： | 王荣坤,于作超,王杰.X-Y直线电机精密运动平台的轮廓误差主动补偿[J].光学精密工程,2019,27(7):1536-1543. |
| |
| 作者姓名： | 王荣坤 于作超 王杰 |
| |
| 作者单位： | 华侨大学 信息科学与工程学院,福建 厦门,361000;华侨大学 信息科学与工程学院,福建 厦门,361000;华侨大学 信息科学与工程学院,福建 厦门,361000 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目;福建省自然科学基金资助项目 |
| |
| 摘 要： | 为了减小X-Y直线电机精密运动平台同步控制的轮廓误差,提高系统的控制精度,针对传统交叉耦合控制结构的不足,提出多电机控制系统的轮廓误差主动补偿结构。首先,以永磁同步直线电机为例分析单轴伺服定位跟踪误差,指出跟踪误差和位置参考有关,结合实际工况中参考指令的扰动,将耦合补偿量最终统一为参考指令的校正加入到系统中,提出轮廓误差主动补偿结构,将轮廓误差补偿量分别补偿到各轴伺服的位置环和速度环,并通过仿真和实验进行验证。结果表明:采用主动补偿方法的X-Y两轴运动平台跟踪大曲率复杂轨迹的轮廓误差平均值为20.68μm;单轴跟踪误差最大值为70μm。相比传统交叉耦合控制结构,主动补偿结构轮廓误差精度提高了15.5%,同时降低了单轴的跟踪误差,并能抑制参考指令扰动。
|
| 关 键 词： | 轮廓误差 主动补偿 X-Y运动平台 直线电机 跟踪误差 |
Active compensation of contour error of X-Y linear motor precision motion platform |
| |
| WANG Rong-kun,YU Zuo-chao,WANG Jie.Active compensation of contour error of X-Y linear motor precision motion platform[J].Optics and Precision Engineering,2019,27(7):1536-1543. |
| |
| Authors: | WANG Rong-kun YU Zuo-chao WANG Jie |
| |
| Affiliation: | (Department of Information Science and Engineering, Huaqiao University, Xiamen 361000, China) |
| |
| Abstract: | WANG Rong-kun;YU Zuo-chao;WANG Jie(Department of Information Science and Engineering, Huaqiao University, Xiamen 361000, China) |
| |
| Keywords: | contour error active compensation X - Y motion platform linear motor tracking error |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
