| 单镜支撑结构对镜面面形影响的接触有限元分析 |
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| 引用本文： | 刘悦,任田田,贾振超.单镜支撑结构对镜面面形影响的接触有限元分析[J].机械设计与制造,2014(10). |
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| 作者姓名： | 刘悦 任田田 贾振超 |
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| 作者单位： | 长春理工大学机电工程学院,吉林长春,130022 |
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| 基金项目： | 吉林省科技发展计划项目 |
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| 摘 要： | 单镜支撑技术是影响光刻机光刻精度的关键因素之一。为了分析某光刻物镜单镜支撑结构对镜面面形的影响,采用接触有限元分析的方法对某光刻物镜系统单镜支撑结构进行分析。由于单镜还受到预紧力和夹紧结构的影响,分析时建立预紧力大小不同,夹紧结构刚度不同,支撑结构刚度不同的有限元模型,计算镜体的自重变形,并由此计算镜面面形的峰谷值(PV)、均方根值(RMS)。分析结果表明,当支撑结构特征尺寸D≥0.6 mm时,镜面面形精度对支撑结构特征尺寸D的稳定性最好,这为以后不同口径光刻机物镜系统的单镜支撑技术提供参考。
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| 关 键 词： | 单镜 支撑结构 面形 精度 |
Analyzing the Effects on the Surface Profile in Single Mirror Supporting Structure Based on Contact Finite Element Method |
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| LIU Yue,REN Tian-tian,JIA Zhen-chao.Analyzing the Effects on the Surface Profile in Single Mirror Supporting Structure Based on Contact Finite Element Method[J].Machinery Design & Manufacture,2014(10). |
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| Authors: | LIU Yue REN Tian-tian JIA Zhen-chao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Single Mirror Supporting Structure Surface Profile Precision |
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