CrAlSiN涂层的制备及其性能研究

利用电弧离子镀技术在硬质合金上涂覆CrAlSiN涂层,研究涂层的微观结构及纳米力学性能。通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了CrAlSiN涂层的微观结构,发现涂层由CrN过渡层和CrAlSiN涂层组成,涂层表面致密,截面呈致密结构,涂层物相主要以AlN、CrN的固溶相存在。通过纳米压痕和划痕实验研究了CrAlSiN涂层的力学性能,结果发现涂层的纳米硬度为31.445GPa,是涂层前的1.41倍,并且结合力为18.49 N。通过摩擦磨损实验发现涂层后的摩擦系数相对降低11%左右。