| 不锈钢基压电厚膜微悬臂梁传感器的制作与测试 |
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| 引用本文： | 周鹏,王大志,石鹏,赵奎鹏,姜重阳,王柱.不锈钢基压电厚膜微悬臂梁传感器的制作与测试[J].机电工程技术,2019,48(7). |
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| 作者姓名： | 周鹏 王大志 石鹏 赵奎鹏 姜重阳 王柱 |
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| 作者单位： | 大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连,116024;上海汽车集团股份有限公司,上海,200041 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;精密测试;国家重点实验室开放基金;中央高校基本科研业务费专项 |
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| 摘 要： | 制备了不锈钢基底压电厚膜微悬臂梁传感器。利用精密激光加工技术制备了厚度为100μm的不锈钢微悬臂梁基底,由于不锈钢具有良好的导电性,可以作微悬臂梁传感器的下电极,采用模板辅助电雾化沉积技术在不锈钢微悬臂梁基底上制备了厚度为20μm的致密PZT厚膜,利用磁控溅射技术制备了30/200 nm厚的Ti/Pt上电极,最终形成了压电厚膜微悬臂梁传感器。多普勒激光测振实验表明,在20 V的激励电压下,压电厚膜微悬臂梁谐振频率为19 kHz。
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| 关 键 词： | 微悬臂梁传感器 PZT厚膜 电雾化沉积 模板辅助 不锈钢 |
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