聚晶金刚石复合片镜面加工工艺优化研究 |
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引用本文: | 关佳亮,任勇,赵显辉,路文文,孙晓楠,戚泽海.聚晶金刚石复合片镜面加工工艺优化研究[J].现代制造工程,2018(1). |
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作者姓名: | 关佳亮 任勇 赵显辉 路文文 孙晓楠 戚泽海 |
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作者单位: | 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院; |
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摘 要: | 针对聚晶金刚石复合片精加工后需达到镜面级表面的指标要求,基于正交试验法优化聚晶金刚石复合片精加工工艺参数,采用极差分析法处理试验数据,并绘制试验指标与各试验因素间的关系曲线图,得出了各因素对表面粗糙度的影响规律,并以此为基础优化工艺参数,进行聚晶金刚石复合片镜面加工工艺优化研究。研究表明:抛光盘转速和研抛时间对工件表面粗糙度影响较大,各因素对表面粗糙度的影响程度按从大到小的顺序依次为:抛光盘转速、研抛时间、研抛压力和抛光液磨料粒度。采用优化后的最优工艺参数组合进行加工试验,当研抛压力为90 kPa、抛光盘转速为1 200 r/min、抛光液磨料粒度为1μm、研抛时间为30 min时,得到了表面粗糙度Ra为0.019μm的质量表面,达到了聚晶金刚石复合片镜面加工(Ra0.02μm)的效果。
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