| MEMS技术的研究现状和新进展 |
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| 引用本文： | 张帅,贾育秦.MEMS技术的研究现状和新进展[J].现代制造工程,2005(9):109-112. |
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| 作者姓名： | 张帅 贾育秦 |
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| 作者单位： | 太原科技大学,030022;太原科技大学,030022 |
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| 摘 要： | 介绍MEMS技术几个主要方面的研究现状和最新进展:MEMS的加工技术、封装技术、检测技术。阐述MEMS技术仍面临的问题。
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| 关 键 词： | MEMS 加工技术 MEMS封装技术 MEMS检测技术 |
| 文章编号： | 1671-3133(2005)09-0109-04 |
| 修稿时间： | 2005年4月20日 |
Research status and new development of MEMS technology |
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| Zhang Shuai,Jia Yuqin.Research status and new development of MEMS technology[J].Modern Manufacturing Engineering,2005(9):109-112. |
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| Authors: | Zhang Shuai Jia Yuqin |
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| Abstract: | The research status and new development,including MEMS micromachining technology,packaging technology and testing technology is introduced emphatically.The problems of MEMS are set forth. |
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| Keywords: | MEMS MEMS micromachining technology MEMS packaging technology MEMS testing technology |
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