| 微型材料的拉伸测试方法研究 |
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| 引用本文： | 张泰华,杨业敏,赵亚溥,余同希,孙庆平.微型材料的拉伸测试方法研究[J].机械强度,2001,23(4):430-436. |
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| 作者姓名： | 张泰华 杨业敏 赵亚溥 余同希 孙庆平 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院力学研究所
2. 香港科技大学机械工程系, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (1 0 1 0 2 0 2 1和 1 0 1 72 0 86)，香港科技大学微系统力学研究“种子经费”资助 |
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| 摘 要： | 微电子机械系统技术的迅速崛起，推动了微型材料拉伸测试方法的发展。文中列举几种典型的微型材料拉伸实验方法，具体说明其驱动方式、力和位移测试原理，并介绍实验中的难点，如试样加工、夹持和对中等方法。并进一步分析能满足未来发展需求的拉伸测试原理。
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 微型材料 拉伸试验 |
| 修稿时间： | 2001年7月4日 |
RESEARCH ON TENSION MEASUREMENTS FOR MINISIZE MATERIALS |
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| ZHANG Taihua,YANG Yemin,ZHAO Yapu,YU Tongxi,SUN Qingping.RESEARCH ON TENSION MEASUREMENTS FOR MINISIZE MATERIALS[J].Journal of Mechanical Strength,2001,23(4):430-436. |
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| Authors: | ZHANG Taihua YANG Yemin ZHAO Yapu YU Tongxi SUN Qingping |
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| Affiliation: | ZHANG Taihua 1 YANG Yemin 1 ZHAO Yapu 1 YU Tongxi 2 SUN Qingping 2 |
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| Abstract: | The rapid developments of micro electro mechanical systems (MEMS) make progress in the research on the tension measurements of minisize materials. The paper is specially focused on introducing several typical tension ways, and cited in illustration of the tension measuring principles for drive, load and displacement and the difficulties of sample handling, alignment and gripping. Finally, a discussion of the future on tension measuring principle is given. |
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| Keywords: | Micro electro mechanical system Minisize materials Tension |
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