| LEO SUPRA系列热场发射扫描电子显微镜 |
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| 引用本文： | 郑东.LEO SUPRA系列热场发射扫描电子显微镜[J].现代仪器,2005,11(2):41-42,40. |
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| 作者姓名： | 郑东 |
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| 作者单位： | 北京师范大学分析测试中心,北京,100875 |
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| 摘 要： | 本文介绍LEOSUPRA系列热场发射扫描电子显微镜的性能及特点 ,主要包括肖特基场发射电子源、电子光学系统以及检测器等。
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| 关 键 词： | 场发射扫描电子显微镜 肖特基场发射电子源 电子光学系统 检测器 |
LEO SUPRA series of field emission scanning electron microscopes |
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| Zheng Dong.LEO SUPRA series of field emission scanning electron microscopes[J].Modern Instruments,2005,11(2):41-42,40. |
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| Authors: | Zheng Dong |
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| Abstract: | In this paper,the features and specifications are briefly reviewed for LEO SUPRA series of field emission scanning electron microscopes,including Schottky field emission source,the electro-optical design of GEMINI column,various detectors and etc. |
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| Keywords: | Field emission scanning electron microscope Schottky field emission source GEMINI column Detector |
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