低阈值高通量被动微阀的研制与性能研究

文中提出一种新型结构的微流控被动流量调节阀,该微阀设计有椭球面结构的调流腔,利用带微孔的柔性薄膜在液体压力作用下产生弹性变形来挤压调流腔中的液体,从而自动实现流量调控。为研究微阀的调流性能,采用3D打印与紫外激光加工技术制作了微阀样件。建立微阀的流固耦合模型,仿真分析微阀中液体流量调控及柔性薄膜受压变形过程,结合实验研究微阀的压力流量特性,实验结果表明该微阀在低阈值液体压力下具有良好的高通量稳流自调控能力。