基于F-P腔的光纤MEMS压力传感器 |
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引用本文: | 赵琴琴,江毅.基于F-P腔的光纤MEMS压力传感器[J].仪表技术与传感器,2019(1). |
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作者姓名: | 赵琴琴 江毅 |
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作者单位: | 北京理工大学光电学院 |
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摘 要: | 为了满足航天、工业等领域对微型压力传感器的需求,提出了一种基于非本征型法布里-珀罗腔的光纤MEMS压力传感器。该传感器的传感头由硅片、Pyrex7740玻璃经阳极键合制作而成,传感头与光纤准直器采用紫外胶粘合。法布里-珀罗腔的长度随加载压力的增大呈线性减小趋势,从而引起干涉光谱的变化,采用白光干涉解调方法获得法布里-珀罗腔的长度。实验测试结果表明该传感器在0~1 MPa测量范围内压力-腔长灵敏度为5. 14μm/MPa,线性度达到0. 999;在传感器使用范围0~80℃内,温度灵敏度为2. 6 nm/℃。
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