| 镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究 |
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| 引用本文： | 杜晓松,杨邦朝,伍隽,王卉.镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究[J].仪表技术与传感器,2000(9):12-14. |
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| 作者姓名： | 杜晓松 杨邦朝 伍隽 王卉 |
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| 作者单位： | 电子科技大学信息材料工程学院 成都市 610054 |
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| 摘 要： | 采用真空蒸发技术在聚酰亚胺、云母、陶瓷及基板上制作了镱薄膜传感器，研究了该传感器在７０ＭＰａ～２ＧＰａ范围内准静态单轴压缩载荷下电阻－压力的变化关系。结果表明该传感器精度高、重复性好、工艺简单。
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| 关 键 词： | 压阻系数 准静态压缩 镱薄膜高压传感器 |
| 修稿时间： | 2000年4月10日 |
Piezoresistance Response of Vapor-deposited Ytterbium Gauges Under Quasi-static Loading |
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| Du Xiaosong,Yang Bangchao,Wu Juan,Wang Hui.Piezoresistance Response of Vapor-deposited Ytterbium Gauges Under Quasi-static Loading[J].Instrument Technique and Sensor,2000(9):12-14. |
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| Authors: | Du Xiaosong Yang Bangchao Wu Juan Wang Hui |
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| Abstract: | Ytterbium thin film sensors are fabricated on polyimide, mica and Al 2O 3 ceramic substrates adopting vacuum evaporation method.The piezoresistance response under quasi-static uniaxial loading in the range of 70MPa to 2GPa is studied. The results show that the sensors are high accurate,excellent reproducible and easy to fabricate. |
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| Keywords: | Ytterbium Gauges Thin film Piezoresistance Coefficient Quasi-static Compression |
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