| 新型薄膜式热电偶切削温度测量传感器 |
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| 引用本文： | 徐静,孙宝元,曾其勇,贾颖.新型薄膜式热电偶切削温度测量传感器[J].仪表技术与传感器,2005(6):1-2,5. |
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| 作者姓名： | 徐静 孙宝元 曾其勇 贾颖 |
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| 作者单位： | 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024 |
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| 基金项目： | 中国工程物理研究院重大基金项目(2001Z0301) |
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| 摘 要： | 研制了一种集成在刀头内的新型薄膜式热电偶。在切削的同时，能快速直接地测量切削温度。镀膜工艺采用了先进的磁控溅射和离子镀技术，成功地解决了绝缘、镀膜牢固性等问题。该热电偶测温接点位于刀尖，响应迅速，时间常数约为0．8ms；并且在0～600℃的测温范围内具有良好的线性和热稳定性。详细论述了传感器的结构设计、薄膜热电偶的制作、静态标定、动态标定以及检测电路。当应用于现场切削试验时，传感器能快速响应瞬态切削温度。
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| 关 键 词： | 薄膜热电偶 溅射 离子镀 标定 |
| 文章编号： | 1002-1841(2005)06-0001-02 |
New Type Thin-film Thermocouple Sensor for Cutting Temperature Measurement |
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| XU Jing,SUN Bao-yuan,ZENG Qi-yong,JIA Ying.New Type Thin-film Thermocouple Sensor for Cutting Temperature Measurement[J].Instrument Technique and Sensor,2005(6):1-2,5. |
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| Authors: | XU Jing SUN Bao-yuan ZENG Qi-yong JIA Ying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Thin-film Thermocouple Sputtering Ion Plating Calibration |
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