| 高精密位移传感器标定技术的研究 |
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| 引用本文： | 宋小奇,何伟铭.高精密位移传感器标定技术的研究[J].仪表技术与传感器,2013(7):1-4,8. |
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| 作者姓名： | 宋小奇 何伟铭 |
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| 作者单位： | 上海理工大学机械工程学院,上海,200093 |
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| 摘 要： | 为实现对高精密位移传感器的自动标定,提出一种采用微位移发生系统产生标准被测量,激光传感器作为标准量检测系统,同步数据采集系统进行数据采集,计算机系统控制采集系统与处理数据的标定系统。通过合理设计压电陶瓷微动调节装置,实现其控制精度约为5%/FS.实验表明该标定系统方便高效。
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| 关 键 词： | 标定系统 高精度 压电陶瓷 位移传感器 |
Research of Demarcating Technique for High Accuracy Displacement Sensor |
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| SONG Xiao-qi
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HE Wei-ming.Research of Demarcating Technique for High Accuracy Displacement Sensor[J].Instrument Technique and Sensor,2013(7):1-4,8. |
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| Authors: | SONG Xiao-qi HE Wei-ming |
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| Affiliation: | (College of Mechanical Engineering University of Shanghai for Science and Technology,Shanghai 200093,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | calibration system high precision piezoceramics displacement sensor |
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