| 微型热敏剪应力传感器的温度补偿 |
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| 引用本文： | 杨少华,马炳和.微型热敏剪应力传感器的温度补偿[J].仪表技术与传感器,2011(9). |
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| 作者姓名： | 杨少华 马炳和 |
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| 作者单位： | 西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,陕西西安,710072 |
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| 摘 要： | 微型热敏剪应力传感器在航空航天等领域有重要应用价值,然而基于热敏感原理的间接剪应力测量会引入流体环境温度的影响.结合热敏剪应力传感嚣的热交换模型,研究了流体环境温度变化的影响机理.分析了常用温度修正方法的应用局限性,设计了结合流体温度、从信号处理角度修正传感器输出的温度补偿方法,没有增加电路复杂程度,显著提高了测量精度.测试实验表明:当流体环境温度在10～20℃范围变化时,温度造成的输出信号偏移误差从原来的2％/℃降低到了0.5％/℃,证明了该方法的有效性.
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| 关 键 词： | 微型剪应力传感器 热敏传感器 温度补偿 环境温度 |
Temperature Compensation of Micro Thermal Shear Stress Sensor |
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| YANG Shao-hua,MA Bing-he.Temperature Compensation of Micro Thermal Shear Stress Sensor[J].Instrument Technique and Sensor,2011(9). |
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| Authors: | YANG Shao-hua MA Bing-he |
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| Affiliation: | YANG Shao-hua,MA Bing-he (Key Laboratory of MEMS/NEMS of Shaanxi Province,Northwestern Polytechnical University,Xi'an 710072,China) |
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| Abstract: | Micro-machined thermal sensor is a promising means used for local and dynamic wall shear stress measurement.However,as an indirect shear stress measurement method on thermal sensing principle,the influence of flow temperature must be considered.Heat transfer model of the thermal shear stress sensor was analyzed,and influence mechanism of flow temperature on the sensor output was discussed.Compared to the conventional temperature methods,a new temperature compensation method with the detected fluid temperatu... |
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| Keywords: | micro shear stress sensor thermal sensor temperature compensation ambient temperature |
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