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低波数高分辨率微型光栅光谱仪的设计
引用本文:谈晗芝,杨照清,杨洁,方晨霆,郭汉明.低波数高分辨率微型光栅光谱仪的设计[J].光学仪器,2021,43(5):68-74.
作者姓名:谈晗芝  杨照清  杨洁  方晨霆  郭汉明
作者单位:上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093;上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093;上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室,上海 200093
基金项目:国家重点研发计划(2016YFF0101603)
摘    要:为了满足光栅型光谱仪高分辨率、小型化以及宽谱段的需求,设计了一种基于Czerny-Turner(C-T)型光路结构的拉曼光谱仪。通过Zemax光学设计软件对聚焦镜、准直镜、柱面镜、CCD的倾角和间距进行了自动优化,并设置合理操作数来消除系统的球差和彗差,利用柱面镜来消除系统像散。所设计的拉曼光谱仪波段范围在80~ 3 200 cm-1,运用了Zemax操作数平衡光谱仪分辨率、工作波段和体积三个重要指标。设计结果表明,该仪器在785 nm波长激发下,全波段光谱分辨率优于3 cm-1,光学结构体积为70 mm×80 mm×25 mm。

关 键 词:光栅  光谱仪  像差理论  分辨率  光学设计
收稿时间:2021/6/11 0:00:00

Design of low wavenumber broadband grating spectrometer system
TAN Hanzhi,YANG Zhaoqing,YANG Jie,FANG Chenting,GUO Hanming.Design of low wavenumber broadband grating spectrometer system[J].Optical Instruments,2021,43(5):68-74.
Authors:TAN Hanzhi  YANG Zhaoqing  YANG Jie  FANG Chenting  GUO Hanming
Affiliation:School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China; School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China;Shanghai Key Laboratory of Modern Optical System, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China
Abstract:
Keywords:grating  spectrometer  aberration theory  resolution  optical design
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