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| 宽光谱膜厚监控仪的研制 | |
| 引用本文： | 周鹏飞,陈桂莲,等.宽光谱膜厚监控仪的研制[J].光学仪器,2001,23(5):36-40. |
| 作者姓名： | 周鹏飞 陈桂莲 等 |
| 作者单位： | 上海理工大学光电学院 |
| 摘 要： | 在介绍宽光谱膜厚监控原理和评价函数的基础上,重点介绍系统硬件和软件组成,最后给出该仪器的实验结果并对其精度进行分析. |
| 关 键 词： | 宽光谱 镀膜 CCD |
| 文章编号： | 1005-5630(2001)5/6-0036-05 |
| 修稿时间： | 2001年8月30日 |
Development the instrument of monitoring the thickness of film by wideband spectrum |
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| Abstract: | |
| Keywords: | CCD |
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