|
|||||
|
|
| 基于ASTM方法的光学平面面形检测 | |
| 引用本文： | 李晋惠,王飞,范博洋.基于ASTM方法的光学平面面形检测[J].光学仪器,2015,37(1):4-8. |
| 作者姓名： | 李晋惠 王飞 范博洋 |
| 作者单位： | 1. 西安工业大学理学院,陕西西安,710021 2. 西安工业大学理学院,陕西西安710021;西安工业大学北方信息工程学院,陕西西安710025 3. 西北工业大学自动化学院,陕西西安,710072 |
| 摘 要： | 为分析光学平面面形偏差,以直径100mm光学平晶为检测对象,利用斐索干涉仪采集了被测光学平面的波面干涉图,按照美国材料与试验协会(American Society for Testing and Materials,ASTM)标准方法,通过分析,能够定性反映出被测光学平面的面形偏差。计算并分析了波面偏差指标峰谷值PV和均方根值RMS,将计算结果与利用ZYGO斐索干涉仪测得的数据对比,偏差为10-3λ,符合光学检测要求。综合考虑可操作性和计算精度,这种基于ASTM的方法是一种行之有效的光学检测分析方法。 |
| 关 键 词： | 斐索干涉仪 干涉图 平面面形检测 ASTM方法 |
| 收稿时间： | 2014/8/23 |
Measurement on optical plane surface based on ASTM method |
|
| LI Jinhui,WANG Fei and FAN Boyang.Measurement on optical plane surface based on ASTM method[J].Optical Instruments,2015,37(1):4-8. | |
| Authors: | LI Jinhui WANG Fei and FAN Boyang |
| Affiliation: | School of Science, Xi'an Technological University, Xi'an 710021, China;School of Science, Xi'an Technological University, Xi'an 710021, China;Xi'an Technological University North Institute of Information Engineering, Xi'an 710025, China;School of Automation, Northwestern Polytechnical University, Xi'an 710072, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | Fizeau interferometer interference fringes plane surface measurement American Society for Testing and Materials (ASTM) method |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《光学仪器》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《光学仪器》下载全文 | |