| 基于光点偏转方法的原子力显微镜的研制 |
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| 引用本文： | 章海军,黄文浩.基于光点偏转方法的原子力显微镜的研制[J].光学仪器,1995,17(3):16-20. |
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| 作者姓名： | 章海军 黄文浩 |
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| 作者单位： | 中国科技大学精密机械与精密仪器系!安徽合肥，230026，中国科技大学精密机械与精密仪器系!安徽合肥，230026 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，中国博士后科学基金 |
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| 摘 要： | 讨论了光点偏转方法检测微小位移的原理，建立了相应的光电检测系统，用于检测微悬臂（针尖）的微位移，并在此基础上研制了纳米级分辨率的原子力显微镜。仪器最大扫描范围可达2×2μm2。文中给出了部分样品的测试结果。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 光点偏转法 微悬臂 微位移 |
Atomic Force Microscope Based in Optical Bean Deflection Method |
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| Zhang Hai -jun,Huang Wen -hao.Atomic Force Microscope Based in Optical Bean Deflection Method[J].Optical Instruments,1995,17(3):16-20. |
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| Authors: | Zhang Hai -jun Huang Wen -hao |
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| Abstract: | The optical bean deflection (OBD) method is used to measure microdisplacement of the cantilever. An AFM based on the OBD method has been constructed. It hasnanometer scale resolution and covers a wide scan range up to 2×2 μm2. Some sample images obtained with the AFM are provided in this paper. |
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| Keywords: | AFM Cantilever Micro-displacement |
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