一种光学两细分的方法

目前，在长度测量中，对分辨率的要求越来越高。这里介绍的一种线位移传感器具有较高的准确度和分辨率，其优点是采用了光学两细分。从LED发出的光经扫描板后主要衍射为-1，0，＋1级，这三束光遇到主光栅──反射相位光栅后，被衍射成＋1级和－1级。相位光栅移动一个周期时，其±1级衍射光均发生了360°相移，＋1级和－1教相移符号相反。这两束光经批描板上指示光栅时又一次衍射，同方向衍射光产生干涉，这三束干涉光经三个电池接收后，光强度转化为电信号，电信号的周期只有光栅周期的一半。