| 高温质子交换铌酸锂波导制备工艺研究 |
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| 引用本文： | 王腾飞,陈抱雪.高温质子交换铌酸锂波导制备工艺研究[J].光学仪器,2013,35(4):17-17. |
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| 作者姓名： | 王腾飞 陈抱雪 |
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| 作者单位： | 上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海200093;上海理工大学 教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海200093;上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室,上海200093;上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海200093;上海理工大学 教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海200093;上海理工大学 上海市现代光学系统重点实验室,上海200093 |
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| 摘 要： | 研究了一种高温质子交换制备铌酸锂光波导的工艺技术,质子源是稀释的苯甲酸熔融液,通过提高蒸气压的方法实现了350℃质子交换,X线衍射测试表明波导层具有单纯的α相结构。采用该技术实验制备了铌酸锂Y分支波导,报告了波导单模特性的测试判断方法,研究了控制波导单模传输的工艺环节。测试表明,试制样品在1 310nm和1 550nm波长下具有良好的单模传输特性。
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| 关 键 词： | 导波光学 铌酸锂波导 高温质子交换 相位调制器 |
Research of high-temperature proton-exchanged LiNbO3 waveguide fabrication technology |
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| WANG Tengfei and CHEN Baoxue.Research of high-temperature proton-exchanged LiNbO3 waveguide fabrication technology[J].Optical Instruments,2013,35(4):17-17. |
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| Authors: | WANG Tengfei and CHEN Baoxue |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | guided wave optics LiNbO3 waveguide high temperature proton-exchanged phase modulator |
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