| 超精密系统中主被动隔振技术的应用及隔振性能测试分析 |
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| 引用本文： | 徐登峰.超精密系统中主被动隔振技术的应用及隔振性能测试分析[J].制造技术与机床,2007,505(1):109-111. |
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| 作者姓名： | 徐登峰 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系制造工程研究所,北京,100084 |
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| 摘 要： | 首先简述了隔振原理及隔振器的分类,在此基础上介绍了选用隔振器的基本原则,并介绍了世界上几款优秀的隔振器,最后对一款日本明立精机主动隔振平台的隔振效果进行了测试与分析。
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| 关 键 词： | 被动隔振 主动隔振 隔振器 平台 |
| 修稿时间： | 2006-08-29 |
Application of Positive and Negative Vibration Isolation Technology in Ultra- precision System and Its Performance Analysis |
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| XU Dengfeng.Application of Positive and Negative Vibration Isolation Technology in Ultra- precision System and Its Performance Analysis[J].Manufacturing Technology & Machine Tool,2007,505(1):109-111. |
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| Authors: | XU Dengfeng |
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| Affiliation: | Institute of Manufacturing Engineering, Dept. of Precision Instrument and Machinery, Tsinghua University, Beijing 100054, CHN |
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