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| 超精密磨削光学非球曲面用中心高微调机构 | |
| 引用本文： | 陈明君,张龙江,董申.超精密磨削光学非球曲面用中心高微调机构[J].制造技术与机床,2000(9):12-13. |
| 作者姓名： | 陈明君 张龙江 董申 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目!(598351 80 ) |
| 摘 要： | 文章从理论上分析了中心高微调机构对光学零件加工精度的影响。设计研制了高精度的中心高微调机构，并进行了系统标定，在２ｍｍ的调整范围内能实现０．１μｍ的精确微调。该微调机构用于超精密磨削光学非球面的中心高微调。磨削结果表明，其磨削加工的零件轮廓精度为０．２μｍ，表面粗糙度为Ｒａ０．０１μｍ。 |
| 关 键 词： | 超精密磨削 光学非球曲面 微调机构 |
Center-Height Micro-adjusting Device for Ultra-precision Grinding of Optical Aspherical Surface |
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