| 显微物镜数字剪切波面像差评价仪 |
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| 引用本文： | 白剑,程上彝,刘承,杨国光.显微物镜数字剪切波面像差评价仪[J].仪器仪表学报,1998,19(3):285-288,296. |
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| 作者姓名： | 白剑 程上彝 刘承 杨国光 |
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| 作者单位： | 浙江大学,光学仪器国家重点实验室,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 机械工业部科技重点基金 |
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| 摘 要： | 本文介绍了所开发的显微物镜像质评价仪，它利用数字波面剪切干涉技术实现显微物镜轴上、轴外单色波像差的实时检测，提出了用有限元解析二维剪切波面的新算法并应用于该评价仪中，最后对实验所测得的数据进行了对比分析，其精度可达λ／２０。
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| 关 键 词： | 剪切波面 有限元 显微镜 像质评价仪 |
A Digital Shearing Wavefront Interferometer for Image Quality Evaluation of Microscope Objectives |
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| Bai Jian,Cheng Shang-yi,Liu Cheng,Yang Guo-guang.A Digital Shearing Wavefront Interferometer for Image Quality Evaluation of Microscope Objectives[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,1998,19(3):285-288,296. |
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| Authors: | Bai Jian Cheng Shang-yi Liu Cheng Yang Guo-guang |
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| Affiliation: | State key laboratory of optical instruments Zhejiang University Hangzhou 310027 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Shearing wavefront Infinite element |
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