| 一种高精度多功能双用原子力显微镜技术及应用 |
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| 引用本文： | 彭光含,杨学恒,刘济春,李旭,辛洪政.一种高精度多功能双用原子力显微镜技术及应用[J].仪器仪表学报,2008,29(1):179-184. |
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| 作者姓名： | 彭光含 杨学恒 刘济春 李旭 辛洪政 |
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| 作者单位： | 1. 湖南文理学院物电系,常德,415000;重庆大学自动化学院,重庆,400030
2. 重庆大学数理学院,重庆,400030 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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湖南省教育厅科研项目
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湖南省重点建设专业-光学基金
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湖南文理学院校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 主要研究了一种基于高精度IPC-205B型扫描隧道显微镜(STM)的新型高精度多功能双用原子力显微镜(AFM)技术及其应用.阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用,详细介绍了该AFM镜体的独特结构和新型微悬臂的制作及其检测方法.该AFM采用简单适用的新型微悬臂.并利用STM检测微悬臂的起伏,通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描,有效提高了扫描精度,扩大了扫描范围.该机型集AFM和STM功能为一体,其中STM可以单独使用.该机型检测精度可达:横向0.1 nm,纵向0.01 nm.并用该样机进行了样品表面形貌和隧道谱的实验研究.
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 镜体 微悬臂 隧道谱 检测精度 多功能 原子力 显微镜技术 应用 atomic force microscope multifunctional capability application 实验 隧道谱 表面形貌 样品 使用 机型 扫描范围 扫描精度 压电陶瓷 机械驱动 利用 |
| 收稿时间： | 2006-06 |
| 修稿时间： | 2006年6月1日 |
Technology and application of a new-style high-resolution capability multifunctional amphibious atomic force microscope |
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| Peng Guanghan,Yang Xueheng,Liu Jichun,Li Xu,Xin Hongzheng.Technology and application of a new-style high-resolution capability multifunctional amphibious atomic force microscope[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2008,29(1):179-184. |
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| Authors: | Peng Guanghan Yang Xueheng Liu Jichun Li Xu Xin Hongzheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | atomic force microscope lens body cantilever tunnel spectrum |
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