| 硅微机械谐振陀螺仪结构优化设计 |
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| 引用本文： | 盛平,王寿荣,许宜申.硅微机械谐振陀螺仪结构优化设计[J].仪器仪表学报,2006,27(Z2):1061-1062. |
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| 作者姓名： | 盛平 王寿荣 许宜申 |
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| 作者单位： | 东南大学仪器科学与工程系,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家863资助项目(2002AA812038) |
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| 摘 要： | 介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,给出了陀螺仪标度因数的表达式,分析了陀螺仪驱动模态的最大振幅、陀螺质量块结构参数、杠杆、DETF结构参数对标度因数的影响,优化了结构设计.利用有限元分析软件ANSYS对陀螺仪的结构进行了仿真,并制作了原理样机.
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| 关 键 词： | 陀螺 双端音叉谐振器 标度因数 结构优化 |
Structural optimization design of silicon micromachined resonant gyroscope |
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| Sheng Ping,Wang Shourong,Xu Yishen.Structural optimization design of silicon micromachined resonant gyroscope[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2006,27(Z2):1061-1062. |
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| Authors: | Sheng Ping Wang Shourong Xu Yishen |
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