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| 基于相位跟踪原理的超精密定位平台研究 | |
| 引用本文： | 朱维斌,朱善安,叶树亮,岩君芳.基于相位跟踪原理的超精密定位平台研究[J].仪器仪表学报,2012,33(10). |
| 作者姓名： | 朱维斌 朱善安 叶树亮 岩君芳 |
| 作者单位： | 1. 浙江大学电气工程学院 杭州310027;中国计量学院计量测试工程学院 杭州310018 2. 浙江大学电气工程学院 杭州310027 3. 中国计量学院计量测试工程学院 杭州310018 |
| 摘 要： | 为了满足超精密定位的需求,介绍了一种基于相位差跟踪的定位原理;针对该方法的具体要求,详细描述了系统的工作过程并设计完成了该定位系统,分别就定位系统关键的高频信号的发生、调理、鉴相以及驱动等模块进行了深入研究;对系统输出的线性度、迟滞、重复性和稳定性等指标进行了实验,并在考虑整个定位系统的组成部件、仪器设备等环节影响的基础上,进行了最终的定位系统不确定度合成,数据显示该定位系统最终的位移不确定度为6.10 nm. |
| 关 键 词： | 相位跟踪 超精密 定位 不确定度 |
Research on ultra-precision positioning platform based on phase tracking |
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| Zhu Weibin,Zhu Shan'an,Ye Shuliang,Yan Junfang.Research on ultra-precision positioning platform based on phase tracking[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2012,33(10). | |
| Authors: | Zhu Weibin Zhu Shan'an Ye Shuliang Yan Junfang |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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