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表面粗糙度三维测量系统
引用本文:强锡富,唐文彦,于英满.表面粗糙度三维测量系统[J].仪器仪表学报,1988(2).
作者姓名:强锡富  唐文彦  于英满
作者单位:哈尔滨工业大学 (强锡富,唐文彦),哈尔滨工业大学(于英满)
摘    要:本文概述了所研制的表面粗糙度三维测量系统。讨论了测量原理、图形的扫描方式、形位误差的校正、形貌图与等高线图的绘制诸问题。使用该系统除可绘制被测表面的形貌图和等高线图外,还可自动计算出表征所测表面的某些幅度参数。

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