| 圆光栅测角系统示值误差分析与补偿 |
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| 引用本文： | 李尕丽,薛 梓,黄 垚,朱维斌,邹 伟. 圆光栅测角系统示值误差分析与补偿[J]. 仪器仪表学报, 2021, 0(5): 59-65 |
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| 作者姓名： | 李尕丽 薛 梓 黄 垚 朱维斌 邹 伟 |
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| 作者单位： | 1. 中国计量大学，2. 中国计量科学研究院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目(51935004)资助 |
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| 摘 要： | 首先针对引起圆光栅测角系统示值误差的主要来源(光栅盘的偏心及倾斜)进行理论研究,同时提出光栅盘与转动轴的同轴安装方法;利用中国计量科学研究院的全圆连续角度标准装置(测量不确定度为0.05″)对待测圆光栅测角系统直接进行溯源性测试,避免了圆光栅安装过程和间接溯源性测试(多面棱体和光电自准直仪配合校准)过程中引入的仪器误差;其次利用谐波理论分析偏心和倾斜以及其它阶次误差在频谱中的分布;最后针对安装偏心和倾斜造成的误差,进行谐波补偿。实验结果表明,测角系统的示值误差从补偿前的100″减小到了10″,有效消除了光栅盘安装偏心、倾斜造成的稳定可复现的误差谐波成分。
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| 关 键 词： | 偏心 倾斜 示值误差 谐波补偿法 |
Indication error analysis and compensation of circulargrating angle measurement system |
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| Li Gali,Xue Zi,Huang Yao,Zhu Weibin,Zou Wei. Indication error analysis and compensation of circulargrating angle measurement system[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2021, 0(5): 59-65 |
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| Authors: | Li Gali Xue Zi Huang Yao Zhu Weibin Zou Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | eccentricity tilt indication error harmonic compensation method |
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